DNA 微阵列（或 DNA 芯片）是微观 DNA 的集合，这些核苷酸排列成阵列并附着在固体表面（通常为显微载玻片）上。每个 DNA 斑点都包含一个特定 DNA 序列，称为探针或杂交探针。这些可以是单个基因或 DNA 的短片段，通常用于在高严格条件下杂交 cDNA 样本（称为靶标）。其用途在于提供一个标准化、专有核酸杂交溶液，针对表达水平较低的基因获得尽可能高的信噪比，并对该表达进行半量化。

通常通过检测荧光基团或化学发光标记的靶标对探针-靶标杂交进行检测和定量，从而确定靶标中核酸序列的相对丰度。

在研究基因结构（例如拷贝数）时，同 DNA 而非 cDNA 进行杂交，该技术被称为 CGH 阵列，用于研究涉及不同癌症的基因的拷贝数，以及用于研究遗传疾病。